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高機能Oリング モリセイ・パーフロシリーズ >> 耐プラズマ性

○ 耐熱材

[単位 : %]

    MP300B 他社・耐熱材
02=30sccm
180min
重量減少 4.4 11.2
パーティクル 0.1 0.2
02/CF4=15/15sccm
180min
重量減少 1.2 4.2
1パーティクル 0.2 0.7


○ 汎用材

[単位 : %]

    MPB MP4275B MPi MP4270W MPP
02=30sccm
180min
重量減少 12.5 10.6 2.3 4.8 6.8
パーティクル 0.1 0.1 0.3 0.7 0.2
02/CF4=15/15sccm
180min
重量減少 2.5 1.6 3.2 4.4 6.3
1パーティクル 0.7 0.2 0.7 0.7 0.4

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