○ 耐熱材
[単位 ： ％]
| |
|
MP300B |
他社・耐熱材 |
02=30sccm
180min |
重量減少 |
4.4 |
11.2 |
| パーティクル |
0.1 |
0.2 |
02/CF4=15/15sccm
180min |
重量減少 |
1.2 |
4.2 |
| 1パーティクル |
0.2 |
0.7 |
 ○ 汎用材
[単位 ： ％]
| |
|
MPB |
4275B |
MP4270W |
MPP |
02=30sccm
180min |
重量減少 |
12.5 |
10.6 |
4.8 |
6.8 |
| パーティクル |
0.1 |
0.1 |
0.7 |
0.2 |
02/CF4=15/15sccm
180min |
重量減少 |
2.5 |
1.6 |
4.4 |
6.3 |
| 1パーティクル |
0.7 |
0.2 |
0.7 |
0.4 |
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